現(xiàn)目前常用的檢測SF6的方法有以下五種：

1、 半導(dǎo)體技術(shù)
目前常用半導(dǎo)體材料二氧化錫Sn02為例說明氣敏半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電機(jī)理。Sn02是N型半導(dǎo)體，其導(dǎo)電機(jī)理可以用吸附效應(yīng)來解釋。它是多晶體，晶粒間界有較高的電阻，晶粒內(nèi)部電阻較低。半導(dǎo)體氣敏電阻的阻值將隨吸附氣體的數(shù)量和種類而改變。這類半導(dǎo)體氣敏電阻工作時都需加熱。器件在加熱到穩(wěn)定狀態(tài)的情況下，當(dāng)有氣體吸附時，吸附分子首先在表面自由地擴(kuò)散。期間一部分分子蒸發(fā)，一部分分子就固定在吸附處。此時如果材料的功函數(shù)小于吸附分子的電子親和力，則吸附分子將從材料奪取電子而變成負(fù)離子吸附；如果材料的功函數(shù)大于吸附分子的離解能，吸附分子將向材料釋放電子而成為正離子吸附。02和NOx（氮類氧化物）傾向于負(fù)離子吸附，稱為氧化型氣體。H2、CO、碳?xì)浠衔锖途祁悆A向于正離子吸附，稱為還原型氣體。氧化型氣體吸附到N型半導(dǎo)體上，將使載流子減少，從而使材料的電阻率增大。還原型氣體吸附到N型半導(dǎo)體上，將使載流子增多，材料電阻率下降。根據(jù)這一特性，就可以從阻值變化的情況得知吸附氣體的種類和濃度典型代表(TGS830、TGS832)鹵素氣體傳感器，屬于廣譜型傳感器，對很多其他氣體都有反應(yīng) ，容易產(chǎn)生誤報。

2、高壓放電

前國內(nèi)外絕大部分手持式定性SF6檢漏儀采用這種方法，優(yōu)點(diǎn)：傳感器成本低廉，靈敏度還可以，缺點(diǎn)：壽命短，平均使用壽命只有20個小時，傳感零點(diǎn)非常不穩(wěn)定，傳感器隨時間不斷的地衰減，易造成零點(diǎn)漂，線性度極差，因此，這種傳感只能適合使用在手持式檢漏儀，不能用于在線檢測儀表中。目前國內(nèi)大部分公司均采用該技術(shù)，且只可以對SF6在預(yù)先標(biāo)定的報警值進(jìn)行定性檢漏。

3、超聲波法：
　　超聲波在固定距離中傳播時間是跟聲波所通過的介質(zhì)有一定的關(guān)系，理論上，當(dāng)不同濃度SF6與Air混合后，通過固定距離所需時間與SF6濃度存在一定的關(guān)系，通過所需時間長短直接反應(yīng)SF6氣體濃度。缺點(diǎn)：超聲波易受濕度、溫度影響非常大，微量SF6的信號也是很微弱的，容易被空氣的濕度或溫度的變化所干擾，因此，在測低濃度時易造成誤報或不報，適合高濃度檢測。通過大量檢測，當(dāng)SF6濃度達(dá)10000ppm以上，超聲波法檢測比較可靠。

4、熱導(dǎo)法
　　熱導(dǎo)型傳感器，已經(jīng)在氣體分析儀器中大量應(yīng)用，如色譜儀，氫氣純度分析儀等。在色譜儀中熱導(dǎo)分析器主要用于微量分析。優(yōu)點(diǎn)：壽命長，靈敏度高，缺點(diǎn)：成本高，電路復(fù)雜，對背景氣體要求高，干擾比較嚴(yán)重，不適合超低濃度檢測。

5、NDIR紅外吸收法

非分光性紅外線技術(shù)(non-dispersive infrared absorption，NDIR)是基于氣體吸收理論的光譜類氣體檢測方法。其表現(xiàn)為：紅外光源發(fā)出的紅外輻射經(jīng)過一定濃度待測的氣體吸收之后，特定波長SF6對應(yīng)10.55um，上光強(qiáng)度會發(fā)生與氣體濃度相對應(yīng)的變化，其變化規(guī)律可由比爾-朗伯吸收定律描述,因此可以根據(jù)光強(qiáng)變化求出氣體濃度。 勤創(chuàng)科技采用雙通道測量原理，探測器上有吸收通道，同時有參考通道，采用進(jìn)口高性能MEMS紅外發(fā)射器，具有長期漂移小，受溫度影響小，抗干擾能力強(qiáng)等特點(diǎn) ，同時為廣大客戶提供具有價格競爭力的產(chǎn)品